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プラズマナノテクノロジー研究会

名古屋大学大学院工学研究科 電子情報システム専攻教授  堀 勝 氏

プラズマテクノロジーは、半導体プロセスの基幹技術であり、超微細加工によるナノパターン形成や微結晶シリコン、ナノチューブ等のナノ構造体の低温形成が可能である。本研究会は、産業界からプラズマに求められているニーズを整理し、プラズマ技術をさらに発展させることにより21世紀を担う革新的量産ナノテクノロジーを探索する。特にバイオナノデバイスやフレキシブル光・電子ナノデバイスを創成するための基盤技術の開発について議論する。



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