次世代半導体材料・デバイス開発のための欠陥エンジニアリングに関する研究会 - 公益財団法人 科学技術交流財団
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次世代半導体材料・デバイス開発のための欠陥エンジニアリングに関する研究会

愛知工業大学 工学部 教授  徳田 豊 氏

次世代高品質半導体デバイス作成には、結晶欠陥の抑制と制御・利用技術―欠陥エンジニアリング―の概念が重要である。欠陥評価技術開発の研究者、結晶成長の専門家、デバイスプロセスの技術者が、欠陥エンジニアリングを中心課題として議論することにより、高品質デバイスの開発を目標とする。対象材料としてはGaNなどのワイドギャップ半導体を中心に、有機半導体、カーボンナノ材料などにも範囲を広げ、幅広い議論を目指す。



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