- EVENT INFORMATION
- 高機能ナノ材料研究会「基礎教育セミナー：めっき・DLC（経験者コース）」を開催します。[平成24年1月21日、28日、3月17日]more
- 「第４回先進プラズマ科学と窒化物及びナノ材料への応用に関する国際シンポジウム(ISPlasma2012)」を開催します。[平成24年3月4日～8日]more
これまでの研究会
セミコンジャパン２００８に出展しました。
- 展示会
- セミコン・ジャパン 2008
- 日時
- 2009年12月3日(水)〜5日(金) 10:00〜17:00 終了しました
- 場所
- 幕張メッセ国際展示場・国際会議場・イベントホール（千葉県千葉市美浜区中瀬）
- 主催
- Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI)
- 入場料
- 無料（全来場者登録入場制）
- 概要
- セミコン・ジャパンとは半導体を中心としたマイクロエレクトロニクスの製造を支える装置・材料産業の世界を代表する総合イベントです。
- 出展ブース
- イノベーションホール（V-01）
- 報告
- レポート＆フォトギャラリー：こちらからご覧下さい。
「開催結果」はこちらからご覧ください。
出展報告
イノベーションホール（V-01）
本展では、第Ⅱ期「東海広域知的クラスター創成事業」の概要と第Ⅰ期の成果として、テーマ１（堀研究室）とテーマ３（江川研究室）の事例をパネルと実物（ラジモ）で紹介しました。
- 説明パネル
- テーマ１＆テーマ３の研究テーマのシナジー説明
- テーマ１：原子状ラジカルモニター及び自律型ナノエッチング装置の概要
- テーマ３：高品質窒化ガリウム系半導体の概要
- 現物展示
- テーマ１：原子状ラジカルモニターの展示（名古屋大学 堀研究室）
- テーマ３：高品質窒化ガリウム系半導体の展示（名古屋工業大学 江川研究室）
- ビデオ上映（名古屋大学 堀研究室）