東海広域ナノテクものづくりクラスター：研究会・イベント情報：イベントの詳細

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EVENT INFORMATION: 第３回先進プラズマ科学と窒化物及びナノ材料への応用に関する国際シンポジウム（ISPlasma2011）を開催します。[平成23年3月6日～9日]more; 窒化物半導体応用研究会「窒化物半導体デバイスプロセス講習会」を開催します。[平成22年9月6日～7日]more; 高機能ナノ材料研究会「基礎教育セミナー：先端計測」を開催します。[平成22年9月4日、11日、18日、10月9日、16日、11月6日、11月中の土曜]more

これまでの研究会

展示会: セミコン・ジャパン 2009
日時: 2009年12月2日(水)〜4日(金) 10:00〜17:00 終了しました
場所: 幕張メッセ国際展示場・国際会議場・イベントホール（千葉県千葉市美浜区中瀬）
主催: Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI)
入場料: 無料（全来場者登録入場制）
概要: セミコン・ジャパンとは半導体を中心としたマイクロエレクトロニクスの製造を支える装置・材料産業の世界を代表する総合イベントです。
出展ブース: 2B-412
出展内容: 名古屋大学、名城大学、大学発ベンチャー企業並びに丸文(株)と共同出展しました。ＮＵシステム(株)、ＮＵエコ・エンジニアリング(株)より新型大気圧プラズマ、高密度ラジカルソース等、(株)名城ナノカーボンより金属型・半導体型カーボンナノチューブを紹介しました。
共同出展 企業一覧: NUエコ・エンジニアリング(株)
ＮＵシステム(株)
丸文(株)
(株)名城ナノカーボン
報告: 「セミコンジャパン2009」のホームページはこちらからご覧ください。

2B-412