- 地域イノベーションクラスタープログラム（グローバル型）
- ［研究テーマ］
- - 研究テーマの概要
- - 先進プラズマナノ基盤技術
- - 表面機能化による先進ナノ部材
- - 高効率光・パワーデバイス部材
- - 界面制御ナノコンポジット部材
- - 国際連携の取り組み
- - 地域の取り組み
- EVENT INFORMATION
- 第３回先進プラズマ科学と窒化物及びナノ材料への応用に関する国際シンポジウム（ISPlasma2011）を開催します。[平成23年3月6日～9日]more
- 窒化物半導体応用研究会「窒化物半導体デバイスプロセス講習会」を開催します。[平成22年9月6日～7日]more
- 高機能ナノ材料研究会「基礎教育セミナー：先端計測」を開催します。[平成22年9月4日、11日、18日、10月9日、16日、11月6日、11月中の土曜]more
テーマ１：先進プラズマナノ基盤技術の開発
- 研究リーダー
- 堀 勝
名古屋大学教授
第I期で開発したプラズマ中のラジカル密度計測技術、基板温度計測さらには表面反応解析技術、ラジカルソース技術等を先進化させ、微細化･高集積化･高速化に対応する先進プラズマナノ技術を確立し、それを応用した製造･計測装置を開発するとともに、次世代のフレキシブルデバイス要素技術を開発します。
サブテーマ
- 超高密度大面積プラズマ生成技術の開発
- 超高密度ラジカルソース・プロセス技術の開発
- 先進ラジカル計測・診断技術及び装置の開発
- 先進プラズマナノデバイスプロセスの開発
関連機関
名古屋大学、名城大学、中部大学、豊田工業大学、和歌山大学 等