【テーマ1:先進プラズマナノ基盤技術の開発】
先進プラズマナノ基盤技術の開発
~プラズマ技術の展開①~
《 主たる研究者 》
名古屋大学 堀 勝 教授
----------------------------------------------------------------------
【テーマ1:先進プラズマナノ基盤技術の開発】
先進プラズマナノ基盤技術の開発
~プラズマ技術の展開②~
《 主たる研究者 》
名古屋大学 堀 勝 教授
----------------------------------------------------------------------
【テーマ1:先進プラズマナノ基盤技術の開発】
自律型ナノエッチング装置の開発
~自律型フィードバック制御システム~
《 主たる研究者 》
名古屋大学 堀 勝 教授
----------------------------------------------------------------------