- 地域イノベーションクラスタープログラム（グローバル型）
- ［研究テーマ］
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- - 先進プラズマナノ基盤技術
- - 表面機能化による先進ナノ部材
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- - 国際連携の取り組み
- - 地域の取り組み
- EVENT INFORMATION
- 第３回先進プラズマ科学と窒化物及びナノ材料への応用に関する国際シンポジウム（ISPlasma2011）を開催します。[平成23年3月6日～9日]more
- 窒化物半導体応用研究会「窒化物半導体デバイスプロセス講習会」を開催します。[平成22年9月6日～7日]more
- 高機能ナノ材料研究会「基礎教育セミナー：先端計測」を開催します。[平成22年9月4日、11日、18日、10月9日、16日、11月6日、11月中の土曜]more
テーマ３：高効率光・パワーデバイス部材の開発
- 研究リーダー
- 江川 孝志
名古屋工業大学教授
大面積Si基板上への窒化物系半導体薄膜結晶成長技術を高度化させるとともに、プラズマナノエッチング技術や高密度ラジカルソース技術などの先進プラズマナノ技術を活用し、高性能・低消費電力の窒化物系半導体デバイス（パワーデバイス、白色LED、紫外線センサー等）部材を開発します。
サブテーマ
- 次世代自動車用高出力パワーデバイス、高周波デバイスの開発
- 低消費電力・高輝度・高演色性LED、環境対応モニタリング用センサーの開発
- 窒化物半導体デバイスプロセス、インテリジェントデバイスの開発と試作体制の整備
関連機関
名古屋工業大学、名城大学、豊橋技術科学大学、名古屋大学、三重大学 等